Fonction de verrouillage des portes Fourneau de dépôt sous vide pour les appareils à graphite et à semi-conducteurs

Le four de dépôt sous vide est utilisé pour la préparation de matériaux composites carbone-carbone,et le four de dépôt est principalement utilisé pour la préparation d'un revêtement pyrolytique de carbone sur la surface du graphite, des dispositifs à semi-conducteurs et des matériaux de nettoyage résistants à la chaleur.

Le champ d'application:

Graphite, dispositifs semi-conducteurs, matériaux de nettoyage résistants à la chaleur.

1Paramètres de base:

1) Température de conception: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Température commune: 900 à 1200°C

3) degré de vide: < 50 Pa

4) Taux d'augmentation de pression: 6,67 pA/h (ou 150 Pa/24h) à froid dans un four vide

5) Mode de chauffage: chauffage par résistance au graphite ou chauffage par induction, contrôle indépendant de la température, bonne uniformité de la température

6) Moyen atmosphérique: vide /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Mode de commande du gaz: commande du débitmètre de masse, voie de gaz multicanal, champ de débit uniforme, pas d'angle mort de dépôt, bon effet de dépôt;

Système de traitement des gaz d'échappement à plusieurs étapes et efficace, respectueux de l'environnement, facile à nettoyer;

8) Type de four: structure carrée, ronde, verticale ou horizontale (conception non standard), chambre de dépôt entièrement fermée, bon effet d'étanchéité, forte capacité antipollution;

9) Mode de refroidissement du four: refroidissement par eau de la coque du four, système de refroidissement rapide à circulation externe, temps de refroidissement court, efficacité de production élevée;

2. Structure du four de dépôt sous vide:

Forme de la structure: décharge horizontale - latérale, verticale - décharge vers le haut/vers le bas

Mode de verrouillage de la porte du four: manuel/automatique

Matériau de la coque du four: acier inoxydable intérieur/tout acier inoxydable

Matériau isolant: feutre de carbone/feutre de graphite/feutre de fibre de carbone durci

Matériau du chauffe-eau et de la muffle: graphite/CFC

Instrument infrarouge: monocolorimétrique/double colorimétrique

Énergie: KGPS/IGBT ((uniquement adapté au chauffage à moyenne fréquence)

Spécification du produit: