Hunan Jingtan Automation Equipment Co., LTD.

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Équipement de dépôt de four CVD pour la préparation de matériaux semi-conducteurs à film mince

Détails du produit

Nom de marque: Jingtan

Certification: CE

Conditions de paiement et d'expédition

Quantité de commande min: 1 série

Prix: USD12,000-100,000/SET

Détails d'emballage: Emballage de boîtes en bois

Délai de livraison: 60 jours

Conditions de paiement: L/C/T/t

Capacité d'approvisionnement: 30 morceaux/morceaux par Quart

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Lieu d'origine:	Hunan, Chine	Le type:	four à induction
Utilisation:	four de dépôt	Inspection vidéo de sortie:	Fournit
Rapport d'essai de la machine:	Fournit	Composants de base:	PLC
brand name:	Jingtan	Voltage:	380
Poids (T):	2 T	Puissance (kW):	220
Points clés de vente:	Prix compétitif	Température de conception (°C):	1250 à 2200
Température inquiétante:	900 à 1200°C	Taux de hausse de pression (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Méthode de chauffage:	résistance/induction	Ambiance de travail:	sous vide/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Type de four:	Carré/rondeVertical/Horizontale	Mode de refroidissement du four:	refroidissement à l'eau de la coque du four
Instruments à infrarouge:	couleurimétrique simple ou double	Uniformité de température:	± 5
Limites de vide Degré ((Pa):	1-100	Type de commercialisation:	Produit ordinaire
Garantie des composants de base:	1 année	Industrie concernée:	autres, semi-conducteurs

Lieu d'origine:	Hunan, Chine
Le type:	four à induction
Utilisation:	four de dépôt
Inspection vidéo de sortie:	Fournit
Rapport d'essai de la machine:	Fournit
Composants de base:	PLC
brand name:	Jingtan
Voltage:	380
Poids (T):	2 T
Puissance (kW):	220
Points clés de vente:	Prix compétitif
Température de conception (°C):	1250 à 2200
Température inquiétante:	900 à 1200°C
Taux de hausse de pression (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Méthode de chauffage:	résistance/induction
Ambiance de travail:	sous vide/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Type de four:	Carré/rondeVertical/Horizontale
Mode de refroidissement du four:	refroidissement à l'eau de la coque du four
Instruments à infrarouge:	couleurimétrique simple ou double
Uniformité de température:	± 5
Limites de vide Degré ((Pa):	1-100
Type de commercialisation:	Produit ordinaire
Garantie des composants de base:	1 année
Industrie concernée:	autres, semi-conducteurs

Définition

Équipement de dépôt de four CVD pour la préparation de matériaux semi-conducteurs à film mince

Les spécifications:

Pièces de chauffage à vide:

Principalement utilisé pour la préparation de matériaux composites carbone-carbone, et le four de dépôt est principalement utilisé pour la préparation d'un revêtement pyrolytique de carbone sur la surface du graphite,appareils semi-conducteurs et matériaux de nettoyage résistants à la chaleur.

Paramètre/numéro de modèle	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	Le numéro de téléphone est le numéro de téléphone de l'entreprise.	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Taille de la zone de travail φ × H ((mm)	300 × 500	500 × 500	600 × 800	600 × 1200	800×1200	1100 × 2000	1200 × 1800	1500 × 2000
Température maximale (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Uniformité de température ((°C)	± 5	± 5	± 5 à ± 7.5	±7,5 ou ±10	±7,5 ou ±10	±10/±15	±10/±15	± 15 ou ± 20
Définition de l'équipement	1 à 100	1 à 100	1 à 100	1 à 100	1 à 100	1 à 100	1 à 100	1 à 100
Définition de l'équipement	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Méthode de chauffage	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction	Résistance/induction

Température de conception	Pour le calcul de la température de l'air, il convient de déterminer la température de l'air.
Température commune	900 à 1200°C
Degré de vide	Pour les appareils électroniques
Taux de hausse de pression	6.67pA/h ((ou 150Pa/24h) à froid dans un four vide
Mode de chauffage	chauffage par résistance au graphite ou chauffage par induction, contrôle indépendant de la température, bonne uniformité de la température
Média atmosphérique	sous vide /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Mode de commande du gaz	contrôle du débitmètre de masse, voie de gaz multicanal, champ de débit uniforme, pas d'angle mort de dépôt, bon effet de dépôt;système de traitement des gaz d'échappement multifase et efficace, respectueux de l'environnement,facile à nettoyer
Type de four	structure carrée, ronde, verticale ou horizontale (conception non standard), chambre de dépôt entièrement fermée, bon effet d'étanchéité, une forte capacité antipollution;
Mode de refroidissement du four	refroidissement à l'eau de la coque du four, système de refroidissement rapide à circulation externe peut être sélectionné, temps de refroidissement court, production élevée l'efficacité;

Forme de la structure	décharge horizontale - latérale, verticale - décharge vers le haut/vers le bas
Mode de verrouillage	manuel/automatique
Matériau de coquille	acier inoxydable intérieur/tout acier inoxydable
Matériau d'isolation	Feutre de carbone/feutre de graphite/feutre de fibre de carbone durci
Instruments à infrarouge	une colorimétrie simple/une double colorimétrie
Énergie électrique	KGPS/IGBT ((uniquement adapté au chauffage à moyenne fréquence) Paramètre du produit:

Tags:

Fours à dépôt sous vide,

Fours à dépôt de vapeur,

four à CVD

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