Four de frittage Si2O pour oxyde de silicium avec une température de fonctionnement de 1 500 °C, une uniformité de ± 5 °C et une taille de chambre personnalisable

Convient à la production en série de matériaux de dépôt en phase vapeur tels que l'oxyde de silicium ; Contrôle de différence de température de haute précision, haute température et vide poussé ; Avec sublimation sous vide poussé, réaction, dégraissage, déshydratation, grattage de meulage automatique de matériau de dépôt en phase vapeur, collecte de four et autres capacités de processus spéciaux.

Caractéristiques de l'équipement :

Une grande quantité de matériau, une efficacité de production élevée.

l L'ensemble du processus est complètement fermé et fonctionne automatiquement, évite les vols de poussière, l'environnement du site de production est propre et propre.

lContrôle de la température dans les 1500 degrés, taux de chauffage rapide.

Je peux maintenir un fonctionnement stable sous vide.

Paramètres de l'équipement :

l Le type de four est une structure horizontale.

l L'équipement est composé d'un système de sublimation, d'un système de collecte, d'un système de chauffage, d'un système de contrôle de la température, d'un système de vide, d'un système mécanique et d'un système de refroidissement.

Le système de sublimation est composé d'une zone de chauffage et d'une zone de collecte. La zone de chauffage est composée d'une bobine d'induction, de corindon lourd, de feutre dur en graphite et de graphite isostatique. La zone de collecte est composée d'acier inoxydable 310S et d'une couche isolante.

l Le système de contrôle de la température adopte le mode de contrôle centralisé à écran tactile PLC, le contrôle automatique, avec port réseau, peut réaliser un contrôle à distance.

l Le système de chauffage adopte un chauffage par induction et l'alimentation électrique adopte une puissance d'économie d'énergie IGBT avec un faible bruit et une économie d'énergie d'environ 15 % par rapport à l'alimentation électrique à thyristors traditionnelle.

Le système de vide se compose d'une pompe à vide à plusieurs étages, d'une vanne à vide, d'un contrôleur de pression et d'un pipeline.

l Le corps du four est constitué d'une structure de refroidissement par eau à double couche à l'intérieur et à l'extérieur, et la partie en contact avec l'eau de refroidissement est en acier inoxydable 304, ce qui empêche efficacement le corps du four de fuir du gaz pendant une longue période.

l Le système de refroidissement est équipé d'un système de refroidissement fermé. La circulation interne utilise de l'eau déminéralisée, ce qui ne provoquera pas d'entartrage dans la canalisation de l'équipement. La perte d'eau de circulation interne est faible. Bon effet de dissipation thermique, protection de l'environnement intégrée, faible encombrement, etc.

l La taille de la zone de température constante : Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mm et ainsi de suite. (peut être personnalisé selon les besoins du client)