Mettre en évidence:
Convient pour la production de masse de matériaux de dépôt de vapeur tels que l'oxyde de silicium; contrôle de la différence de température de haute précision, haute température et vide élevé; avec une sublimation sous vide élevée,réaction, dégraissage, déshydratation, dépôt de vapeur de matériau, grattage automatique, collecte au four et autres capacités de procédés spéciaux.
Caractéristiques du matériel:
Une grande quantité de matériel, une efficacité de production élevée.
L'ensemble du processus est entièrement fermé et fonctionne automatiquement, éviter la poussière volante, l'environnement du site de production est propre et propre.
Contrôle de la température à 1500 degrés, chauffage rapide.
Je peux maintenir un fonctionnement stable sous vide.
Paramètres de l'équipement
Le type de four est une structure horizontale.
L'équipement est composé d'un système de sublimation, d'un système de collecte, d'un système de chauffage, d'un système de régulation de la température, d'un système de vide, d'un système mécanique et d'un système de refroidissement.
Le système de sublimation est composé d'une zone de chauffage et d'une zone de collecte.La zone de collecte est composée d'acier inoxydable 310S et de couche d'isolation.
Le système de contrôle de la température adopte le mode de contrôle centralisé à écran tactile PLC, contrôle automatique, avec port réseau, peut réaliser le contrôle à distance.
Le système de chauffage adopte le chauffage par induction, et l'alimentation adopte la puissance d'économie d'énergie IGBT avec un faible bruit et environ 15% d'économie d'énergie par rapport à l'alimentation thyristor traditionnelle.
Le système de vide se compose d'une pompe à vide à plusieurs étages, d'une vanne à vide, d'un régulateur de pression et d'un pipeline.
Le corps du four est constitué d'une structure de refroidissement par eau à double couche à l'intérieur et à l'extérieur, et la partie en contact avec l'eau de refroidissement est en acier inoxydable 304,qui empêche efficacement le corps du four de fuir du gaz pendant une longue période.
Le système de refroidissement est équipé d'un système de refroidissement fermé.La perte d'eau de circulation interne est faibleUn bon effet de dissipation de chaleur, une protection environnementale intégrée, une petite empreinte, etc.
La taille de la zone de température constante: Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mm et ainsi de suite.
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